| 发明名称 |
具有经净化参考晶片之光学计量 |
| 摘要 |
明揭示一种积体计量模组，其包含：一卡盘，其用于固持一样本且相对于一光学计量装置定位该样本；一参考晶片，其用于该光学计量装置，该参考晶片可移动至相对于该光学计量装置之各种位置；及一参考晶片净化装置，当该参考晶片处于该等各种位置中时，其在该参考晶片上方提供净化气体或空气之一流动。该参考晶片净化装置可系静态的或可与该参考晶片一起移动。
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| 申请公布号 |
TW201611147 |
申请公布日期 |
2016.03.16 |
| 申请号 |
TW104124572 |
申请日期 |
2015.07.29 |
| 申请人 |
耐诺股份有限公司 |
发明人 |
克拉森 安德鲁Ｓ;哈首尔顿 安德鲁Ｊ;巴拉达 安德鲁Ｈ;佩提特 陶德Ｍ;杜全盛 |
| 分类号 |
H01L21/66(2006.01);G01B11/00(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/66(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
| 主权项 |
一种设备，其包括：一卡盘，其用于固持一样本且相对于一光学计量装置定位该样本；一参考晶片，其用于该光学计量装置，该参考晶片可移动至相对于该光学计量装置之各种位置；及一参考晶片净化装置，当该参考晶片处于该等各种位置中时，其在该参考晶片上方提供净化气体或空气之一流动。
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| 地址 |
美国 |
