| 发明名称 |
制造有机－无机层合物之方法 |
| 摘要 |
明系属藉由原子层沈积制造有机-无机层合物之方法之领域。特定而言，本发明系关于制造层合物之方法，其包含相对于沿相对移动轨迹排列之至少两个独立孔口移动基板，其中经由至少一个孔口朝向该基板之表面传送呈气态之有机化合物，且经由至少一个其他孔口朝向该基板之表面传送呈气态之含(半)金属化合物，且其中将该等孔口安装于旋转鼓上。
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| 申请公布号 |
TW201610200 |
申请公布日期 |
2016.03.16 |
| 申请号 |
TW104117039 |
申请日期 |
2015.05.27 |
| 申请人 |
巴斯夫涂料有限责任公司 |
发明人 |
奥夫 马拉奇;艾克米尔 法里斯;克洛兹 史堤芬 |
| 分类号 |
C23C16/00(2006.01);C23C16/18(2006.01);B32B37/00(2006.01) |
主分类号 |
C23C16/00(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
| 主权项 |
一种制造层合物之方法，其包含相对于沿相对移动轨迹排列之至少两个独立孔口移动基板，其中经由至少一个孔口朝向该基板之表面传送呈气态之有机化合物，且经由至少一个其他孔口朝向该基板之表面传送呈气态之含(半)金属化合物，且其中将该等孔口安装于旋转鼓上。
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| 地址 |
德国 |
