| 发明名称 | 均匀轴向力承片装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种均匀轴向力承片装置，包括：一片状下施力盖板(10)；一片状下承接托(11)，上表面沿以下承接托(11)的中心为圆心的圆周均匀分布有多个孔，并位于下施力盖板(10)之上；一片状上施力托(14)，与下承接拖(11)的所述多个孔相对应地分布有多个孔，并位于下承接托之上；其中在下承接托(11)和上施力托(14)之间通过多个定向柱(15)插置在相对应的孔中实现连接，在下承接托(11)和上施力托(14)之间还设置有一对上下叠置的保护陪片(16)；一平凸透镜(17)，其平面与上施力托相对地位于上施力托(14)之上；以及一上施力盖板(18)，上施力盖板(18)为片状，位于平凸透镜(17)之上。 | ||
| 申请公布号 | CN105405793A | 申请公布日期 | 2016.03.16 |
| 申请号 | CN201510896680.4 | 申请日期 | 2015.12.08 |
| 申请人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明人 | 张冶金;郑婉华;王海玲;彭红玲 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 吕雁葭 |
| 主权项 | 一种均匀轴向力承片装置，包括：一下施力盖板(10)，该下施力盖板(10)为片状；一下承接托(11)，该下承接托(11)为片状，上表面沿以下承接托(11)的中心为圆心的圆周均匀分布有多个孔，并位于下施力盖板(10)之上；一上施力托(14)，该上施力托(14)为片状，与下承接拖(11)的所述多个孔相对应地分布有多个孔，并位于下承接托之上；其中在下承接托(11)和上施力托(14)之间通过多个定向柱(15)插置在相对应的孔中实现连接，在下承接托(11)和上施力托(14)之间还设置有一对上下叠置的保护陪片(16)，该对保护陪片的中心与下承接托(11)的中心对准；一平凸透镜(17)，其平面与上施力托相对地位于上施力托(14)之上；以及一上施力盖板(18)，上施力盖板(18)为片状，位于平凸透镜(17)之上。 | ||
| 地址 | 100083 北京市海淀区清华东路甲35号 | ||