| 发明名称 | 圆筒基体材料、原盘及原盘的制造方法 | ||
| 摘要 | 提供能够均匀地转印微细图案的圆筒基体材料、原盘及原盘的制造方法。使用由圆筒形状的石英玻璃构成且内部应变以双折射量为小于70nm/cm的圆筒基体材料（11）。在该圆筒基体材料（11）的外周表面成膜抗蚀剂层，并在抗蚀剂层形成潜影，使形成潜影的抗蚀剂层显影，并以显影的抗蚀剂层的图案为掩模进行蚀刻，形成由在圆筒基体材料（11）的外周表面排列多个的凹部或凸部构成的结构体（12）。 | ||
| 申请公布号 | CN105408265A | 申请公布日期 | 2016.03.16 |
| 申请号 | CN201480043133.5 | 申请日期 | 2014.12.04 |
| 申请人 | 迪睿合株式会社 | 发明人 | 村本穣;菊池正尚;梶谷俊一;音羽孝聪;高桥康弘 |
| 分类号 | C03B20/00(2006.01)I;B29C33/38(2006.01)I;B29C59/04(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/09(2006.01)I;G11B7/26(2006.01)I;B29L11/00(2006.01)I | 主分类号 | C03B20/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 何欣亭;陈岚 |
| 主权项 | 一种圆筒基体材料，由圆筒形状的石英玻璃构成，内部应变以双折射量为小于70nm/cm。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||