发明名称 一种给气浮动机构
摘要 本发明提供了一种给气浮动机构,包括基座和该基座顶部设置的基座上盖,所述基座设有开口向上的安装腔,所述基座上盖竖直方向上设有通孔,所述基座的底部设有和安装腔连通的进气孔,所述安装腔内设有顶升机构,所述顶升机构包括由上至下设置的浮动杆、膜片和固定膜片环,所述膜片的开口向下设置,所述膜片、固定膜片环、浮动杆和通孔同心设置,所述底板和基座上盖间设有弹簧。本发明所述的一种给气浮动机构中,通过向安装腔内供气实现顶升机构的顶升动作,保证了顶升动作的平稳性,另外,本装置自动化程度较高,噪音较小,空间较小。
申请公布号 CN105405797A 申请公布日期 2016.03.16
申请号 CN201511015443.9 申请日期 2015.12.30
申请人 天津金海通自动化设备制造有限公司 发明人 贺怀珍
分类号 H01L21/67(2006.01)I 主分类号 H01L21/67(2006.01)I
代理机构 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 代理人 杨慧玲
主权项 一种给气浮动机构,其特征在于:包括基座(1)和该基座(1)顶部设置的基座上盖(2),所述基座(1)设有开口向上的安装腔,所述基座上盖(2)竖直方向上设有通孔,该通孔和安装腔正对设置,所述基座(1)的底部设有和安装腔连通的进气孔,所述安装腔内设有顶升机构,所述顶升机构包括由上至下设置的浮动杆(3)、膜片(12)和固定膜片环(4),所述浮动杆(3)、膜片(12)和固定膜片环(4)连接为一体,所述膜片(12)的开口向下设置,所述膜片(12)、固定膜片环(4)、浮动杆(3)和通孔同心设置,所述膜片(12)的外边缘和安装腔底面密封设置,所述膜片(12)和安装腔底面间形成进气腔,所述浮动杆(3)包括底板(31)和立柱(32),所述立柱(32)竖直设置在底板(31)的上表面,且立柱(32)正对通孔设置,立柱(32)在通孔内可上下滑动,所述底板(31)和基座上盖(2)间设有弹簧(11)。
地址 300384 天津市滨海新区高新区华苑产业区海泰西路18号北2-504工业孵化-2