| 发明名称 |
用于调节反应器基座组件之装置和方法 |
| 摘要 |
明系关于一种对准组件以用于改变基座组件之之板相对于反应器处理槽室的的相对位置。对准组件在第一端连接至加热组件的竖板轴以及在第二端连接至驱动轴。对准组件的一个或多个部分可以选择地旋转或侧向移动以改变板相对于处理槽室之所需要的相对位置。
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| 申请公布号 |
TW201611180 |
申请公布日期 |
2016.03.16 |
| 申请号 |
TW104122438 |
申请日期 |
2015.07.10 |
| 申请人 |
ＡＳＭ智慧财产控股公司 |
发明人 |
哈宾 米歇尔 |
| 分类号 |
H01L21/683(2006.01);H01L21/68(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/683(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
吴洛杰 |
| 主权项 |
一种改变反应器处理槽室中基座组件板相对位置之方法，该方法包括以下步骤：连接基座组件竖板轴至对准组件之第一端；连接驱动轴至对准组件之第二端；以及轴向地旋转对准组件的第一部分以改变板相对于处理槽室之相对位置。
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| 地址 |
荷兰 |
