基板容器

摘要

明提供一种前开式晶圆容器，该前开式晶圆容器具有前面的一组堆叠V形晶圆边缘容置部及后面的一组堆叠V形晶圆边缘容置部，后面的该组堆叠V形晶圆边缘容置部系为一晶圆搁架之一部分且包含预成形且由聚碳酸酯包覆成型之一聚对苯二甲酸丁二酯薄膜。该等组堆叠V形晶圆边缘容置部提供位于搁架上安放位置上方之搁架间安放位置。该聚对苯二甲酸丁二酯为该等晶圆边缘提供一低摩擦滑动啮合表面，藉此提供当移除该晶圆容器之该门时晶圆自该搁架间位置至该搁架上位置之均匀及一致落下。

主权项

一种前开式晶圆容器，包含：一容器部，包含一壳体部、一门框架，该门框架界定一开口正面，以及一门，其大小适以被容置于该门框架中，该门包含用于将该门闩锁至该容器部之一闩锁机构；以及一对晶圆搁架组件，位于该容器部中以界定一晶圆容置区，各该晶圆搁架组件具有复数个V形安放部，该等V形安放部界定复数V形凹槽，该等V形凹槽包含具有聚对苯二甲酸丁二酯(polybutylene terephthalate；PBT)之一薄膜条，该等V形凹槽暴露于该等安放部上以啮合晶圆边缘。