| 主权项 |
一种沈积系统，包括：一处理腔室，具有定义一腔室容积的壁，该处理腔室包括一接受器组件及一气体分布组件，该处理腔室具有在该气体分布组件及该接受器组件之间的至少一个第一处理区域及该气体分布组件及该接受器组件之间的至少一个第二处理区域，该至少一个第一处理区域及该至少一个第二处理区域中的各者系由一气体隔幕所分离；一腔室排气系统，与该腔室容积流体流通，该腔室排气系统包括该处理腔室下游的一腔室排气节流阀；一第一排气系统，与至少一个第一处理区域流体流通，该第一排气系统包括一第一节流阀及一第一压力计量器；一第二排气系统，与该至少一个第二处理区域流体流通，该第二排气系统包括一第二节流阀及一第二压力计量器；及一控制器，与该第一排气系统及该第二排气系统通讯，以回应于来自该第一压力计量器及该第二压力计量器的讯号，来控制该节流阀。
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