溅镀靶用靶材之制造方法及爪构件

摘要

明实施形态之溅镀靶用靶材之制造方法，系包括：将3个以上之支撑爪插入于全长为500mm以上之筒状陶瓷之中空部直至筒状陶瓷之全长之10%以上之长度为止之步骤；使3个以上之支撑爪分别抵接于筒状陶瓷之内周面而支撑筒状陶瓷之步骤；以及使被3个以上之支撑爪支撑之筒状陶瓷朝筒状陶瓷之圆周方向旋转并加工筒状陶瓷之外周面之步骤。3个以上之支撑爪系经硬质橡胶涂覆。

主权项

一种溅镀靶用靶材之制造方法，系包括：将3个以上之以硬质橡胶涂覆之支撑爪插入于全长为500mm以上之筒状陶瓷之中空部中直到前述筒状陶瓷之全长之10%以上之长度为止之步骤；使前述3个以上之支撑爪分别抵接于前述筒状陶瓷之内周面而支撑前述筒状陶瓷之步骤；以及使被前述3个以上之支撑爪支撑之前述筒状陶瓷朝前述筒状陶瓷之圆周方向旋转并加工前述筒状陶瓷之外周面之步骤。