用于自动验证半导体工艺制作方法的方法及设备

摘要

本文提供了用于自动验证半导体工艺步骤的方法及设备。在一些实例中，一种用于验证半导体工艺制作方法的方法包括以下步骤：选择规则集，所述规则集描述半导体处理工具的操作窗口；相对于所述规则集的限制核对规则来核对参数值以产生第一结果，所述参数值由所述半导体工艺制作方法中的步骤定义；使用所述规则集的步骤定义规则，根据所述半导体工艺制作方法中的所述步骤确定步骤类型，以产生第二结果；相对于所述规则集的步骤转变规则来核对所述步骤类型之间的转变，以产生第三结果；以及基于所述第一结果、所述第二结果及所述第三结果，使用所述计算机产生验证数据，以供使用所述半导体处理工具的所述半导体工艺制作方法使用。

主权项

一种验证半导体工艺制作方法的计算机实施方法，所述方法包括如下步骤：选择规则集，所述规则集描述半导体处理工具的操作窗口；相对于所述规则集的限制核对规则来核对参数值以产生第一结果，所述参数值由所述半导体工艺制作方法中的步骤定义；使用所述规则集的步骤定义规则，根据所述半导体工艺制作方法中的所述步骤确定步骤类型，以产生第二结果；相对于所述规则集的步骤转变规则来核对所述步骤类型之间的转变，以产生第三结果；以及基于所述第一结果、所述第二结果及所述第三结果，使用所述计算机产生验证数据，以供使用所述半导体处理工具的所述半导体工艺制作方法使用。