发明名称 一种磺酸肟酯类光产酸剂
摘要 本发明公开一种如通式(I)所示的磺酸肟脂类光产酸剂,感光性能优异,可以很好地与i线和h线光源匹配,具有很高的感光灵敏度,性能明显优于现有的光产酸剂产品。<img file="DDA00003575155000011.GIF" wi="1559" he="577" />
申请公布号 CN103389621B 申请公布日期 2016.03.16
申请号 CN201310320709.5 申请日期 2013.07.26
申请人 常州强力先端电子材料有限公司 发明人 钱晓春;钱彬;胡春青;王兵;李军
分类号 G03F7/004(2006.01)I;C07D209/86(2006.01)I;C07D405/06(2006.01)I;C07D409/06(2006.01)I;C07C323/47(2006.01)I;C07C319/20(2006.01)I 主分类号 G03F7/004(2006.01)I
代理机构 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 代理人 杨采良
主权项 一种磺酸肟脂类光产酸剂,具有如通式(I)所示的结构:<img file="FDA0000889337790000011.GIF" wi="1360" he="506" />其中,n=1‑3,m=1‑4;X为单键、<img file="FDA0000889337790000012.GIF" wi="390" he="199" />R<sub>1</sub>选自C<sub>1</sub>‑C<sub>18</sub>的烷基磺酰基、苯基磺酰基或樟脑基磺酰基,任选地,这些磺酰基中的H原子可以各自独立地被下列基团取代:NO<sub>2</sub>、CN、卤素、C<sub>1</sub>‑C<sub>18</sub>烷基、苯基、C<sub>3</sub>‑C<sub>20</sub>的环烷基、C<sub>4</sub>‑C<sub>20</sub>的环烷基烷基、和含有O、S、N原子的杂环基团;<img file="FDA0000889337790000013.GIF" wi="391" he="382" />选自以下基团,其中的*表示与X连接的位置,<img file="FDA0000889337790000021.GIF" wi="1645" he="2449" />
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