发明名称 |
一种磺酸肟酯类光产酸剂 |
摘要 |
本发明公开一种如通式(I)所示的磺酸肟脂类光产酸剂,感光性能优异,可以很好地与i线和h线光源匹配,具有很高的感光灵敏度,性能明显优于现有的光产酸剂产品。<img file="DDA00003575155000011.GIF" wi="1559" he="577" /> |
申请公布号 |
CN103389621B |
申请公布日期 |
2016.03.16 |
申请号 |
CN201310320709.5 |
申请日期 |
2013.07.26 |
申请人 |
常州强力先端电子材料有限公司 |
发明人 |
钱晓春;钱彬;胡春青;王兵;李军 |
分类号 |
G03F7/004(2006.01)I;C07D209/86(2006.01)I;C07D405/06(2006.01)I;C07D409/06(2006.01)I;C07C323/47(2006.01)I;C07C319/20(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/004(2006.01)I |
代理机构 |
北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 |
代理人 |
杨采良 |
主权项 |
一种磺酸肟脂类光产酸剂,具有如通式(I)所示的结构:<img file="FDA0000889337790000011.GIF" wi="1360" he="506" />其中,n=1‑3,m=1‑4;X为单键、<img file="FDA0000889337790000012.GIF" wi="390" he="199" />R<sub>1</sub>选自C<sub>1</sub>‑C<sub>18</sub>的烷基磺酰基、苯基磺酰基或樟脑基磺酰基,任选地,这些磺酰基中的H原子可以各自独立地被下列基团取代:NO<sub>2</sub>、CN、卤素、C<sub>1</sub>‑C<sub>18</sub>烷基、苯基、C<sub>3</sub>‑C<sub>20</sub>的环烷基、C<sub>4</sub>‑C<sub>20</sub>的环烷基烷基、和含有O、S、N原子的杂环基团;<img file="FDA0000889337790000013.GIF" wi="391" he="382" />选自以下基团,其中的*表示与X连接的位置,<img file="FDA0000889337790000021.GIF" wi="1645" he="2449" /> |
地址 |
213159 江苏省常州市武进区武澄工业园 |