一种硬脆材料的激光钻孔装置及钻孔方法

摘要

本发明提供了一种硬脆材料的激光钻孔装置，所述激光器出射的激光光束入射进入所述扩束器，经所述扩束器后的激光光束形成扩束光束，所述扩束光束入射进入所述λ/4玻片形成圆偏振光，所述圆偏振光经所述反射镜进入所述光束扫描系统，经所述光束扫描系统后的圆偏振光沿预先设定轨迹传输，并聚焦于所述定位平台上的载硬脆材料上，从而实现了对硬脆材料激光钻孔的精确加工，提高了加工精度。另外，本发明还提供了一种硬脆材料的激光钻孔方法。

主权项

一种硬脆材料的激光钻孔装置，所述激光钻孔装置安装于机床平台上，其特征在于，所述激光钻孔装置包括激光器、沿所述激光器出射的激光光束依次设置的扩束器、λ/4玻片、反射镜、光束扫描系统，承载硬脆材料的定位平台以及与所述激光器、扩束器、λ/4玻片、反射镜、光束扫描系统，定位平台均信号连接的控制单元；所述激光器出射的激光光束入射进入所述扩束器，经所述扩束器后的激光光束形成扩束光束，所述扩束光束入射进入所述λ/4玻片形成圆偏振光，所述圆偏振光经所述反射镜进入所述光束扫描系统，经所述光束扫描系统后的圆偏振光沿预先设定轨迹传输，并聚焦于所述定位平台上的载硬脆材料上。