一种弧光放电型离子源装置

摘要

本实用新型提供了一种弧光放电型离子源装置，其技术要点是：密封圆筒的一端与过渡法兰、上密封环、端面外法兰依次连接，密封圆筒的另一端与下密封环、端面内法兰依次连接；端面外法兰一端与空心圆筒的一端连接，空心圆筒另一端悬浮在密封圆筒内；与热丝电源连接的金属电极从端面外法兰的另一端插入空心圆筒内，并与热丝连接构成回路；端面外法兰外部设置电弧电源，电弧电源的正、负极分别连接金属电极的正极与密封圆筒；在端面外法兰上设置向空心圆筒内进气的气体入口，其位于金属电极之间；在密封圆筒外表面缠绕聚焦电磁线圈，聚焦电磁线圈电源给聚焦电磁线圈供电。

主权项

一种弧光放电型离子源装置，其特征在于：密封圆筒的一端与过渡法兰、上密封环、端面外法兰依次连接，密封圆筒的另一端与下密封环、端面内法兰依次连接；端面外法兰一端与空心圆筒的一端连接，空心圆筒另一端悬浮在密封圆筒内；与热丝电源连接的金属电极从端面外法兰的另一端插入空心圆筒内，并与热丝连接构成回路；端面外法兰外部设置电弧电源，电弧电源的正、负极分别连接金属电极的正极与密封圆筒；在端面外法兰上设置向空心圆筒内进气的气体入口，其位于金属电极之间；在密封圆筒外表面缠绕聚焦电磁线圈，聚焦电磁线圈电源给聚焦电磁线圈供电。