带电粒子束描绘装置及带电粒子束描绘方法

摘要

明一个态样之带电粒子束描绘装置，其特征为，具备：记忆部，记忆试料的描绘对象区域的描绘资料；分割部，读入描绘资料，并将描绘对象区域分割成至少与配置有图样的第1区域重复之至少1个第1资料处理区域、及不与第1区域重复，而与未配置有图样的第2区域重复之第2资料处理区域；资料处理部，针对规定的资料处理内容，于第2资料处理区域不进行资料处理，于至少1个第1资料处理区域则进行资料处理；描绘部，依据资料处理后之资料，对试料描绘图样。

主权项

一种带电粒子束描绘装置，其特征为，具备：记忆部，记忆试料的描绘对象区域的描绘资料；第1分割部，读入前述描绘资料，并将前述描绘对象区域分割成至少与配置有图样的第1区域重复之至少1个第1资料处理区域、及不与前述第1区域重复，而与未配置有图样的第2区域重复之第2资料处理区域；资料处理部，针对规定的资料处理内容，于前述第2资料处理区域不进行资料处理，于前述至少1个第1资料处理区域则进行资料处理；描绘部，依据资料处理后之资料，对试料描绘图样。