可抑制空心阴极放电的电容耦合式电浆电极及气体分配面板

摘要

电浆处理腔室之气体分配系统的一面板，其包括一面板本体，该面板本体具有第一表面、与该第一表面相反的第二表面、以及侧表面。在该面板本体中的第一复数孔洞，从该第一表面延伸到该第二表面。在平行于该第一表面的平面上，该第一复数孔洞中的至少若干者具有第一尺寸大小以及第二尺寸大小。该第一尺寸大小横向于该第二尺寸大小。该第一尺寸大小，小于电浆处理腔室所产生的电浆的3个电浆鞘厚度。该第二尺寸大小，大于该第一尺寸大小的2倍。

主权项

一种面板，用于电浆处理腔室中的气体分配系统，包括： 一面板本体，其具有第一表面、与该第一表面相反的第二表面、以及侧表面；以及 第一复数孔洞，其位在该面板本体中，并从该第一表面延伸到该第二表面； 其中在平行于该第一表面的平面上，该第一复数孔洞中的至少若干者具有第一尺寸大小以及第二尺寸大小， 其中该第一尺寸大小横向于该第二尺寸大小， 其中该第一尺寸大小，小于电浆处理腔室所产生的电浆的3个电浆鞘厚度，以及 其中该第二尺寸大小，大于该第一尺寸大小的2倍。