| 发明名称 |
含光交联氟聚合物之钝化层 |
| 摘要 |
露系关于含光交联氟聚合物之钝化层及用以形成该层的方法。包含该交联氟聚合物的钝化层具有低介电常数、低吸水性且能够光成像，以便得到现代电子设备所需的极精细特征。
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| 申请公布号 |
TW201610011 |
申请公布日期 |
2016.03.16 |
| 申请号 |
TW104117604 |
申请日期 |
2015.06.01 |
| 申请人 |
科慕ＦＣ有限责任公司 |
发明人 |
洛伊 罗夫 伯查得;瑞里 詹姆斯Ｆ;魏兰 罗勃 克雷顿;锺成镇 |
| 分类号 |
C09D127/12(2006.01);C09D135/08(2006.01);C09D133/14(2006.01);C09D7/12(2006.01);G03F7/038(2006.01);G03F7/38(2006.01);H01L21/027(2006.01);H01L21/312(2006.01);H01L23/532(2006.01) |
主分类号 |
C09D127/12(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈传岳;郭雨岚 |
| 主权项 |
一种钝化层，其包含设置在一基材之至少一部分上的一光交联涂料组合物层，其中该涂料组合物包含：i)一可光交联氟聚合物，其具有包含以下的重复单元：(a)一氟烯烃；(b)一烷基乙烯醚，其中烷基为C1至C6直链或C3至C6支链或环状饱和烃基；以及(c)一乙烯基环氧化物；ii)一光酸产生剂；iii)一可选择的光敏感剂；以及iv)一载体介质；其中该可光交联氟聚合物具有自20,000至300,000之范围内的数量平均分子量，且其中当在100kHz下测量时，该光交联涂料组合物层具有自1至5之范围内的介电常数，且其中具有自0.01微米至300微米之范围内的厚度的该光交联涂料组合物层具有光交联特征，该光交联特征具有一最小宽度，其为下列两者中较大者：a)该涂料组合物的厚度的约10百分比或b)0.5微米。
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| 地址 |
美国 |
