保持垫片

摘要

明提供一种保持垫片，该保持垫片系于具有用以保持被研磨构件之保持层的保持垫片中，前述保持层系于其表面上的一部分具有用以贴附防止被研磨构件的横向偏移用之模板的模板固定部，前述模板固定部系于其表面具有用以吸附固定模板的吸附层，前述吸附层系以使由预定的矽氧烷所构成之聚矽氧交联而成的组成物所形成。

主权项

一种保持垫片，其特征在于：于具有用以保持被研磨构件之保持层的保持垫片中，前述保持层系于其表面上的一部分具有用以贴附防止被研磨构件的横向偏移用之模板的模板固定部，前述模板固定部系于其表面具有用以吸附固定模板的吸附层，前述吸附层包含使选自由如下聚矽氧之至少一种的聚矽氧交联而成之组成物；由仅于两末端具有乙烯基的直链状聚有机矽氧烷所成之聚矽氧；由于两末端及侧链具有乙烯基的直链状聚有机矽氧烷所成之聚矽氧；由仅于末端具有乙烯基的分枝状聚有机矽氧烷所成之聚矽氧；及，由于末端及侧链具有乙烯基的分枝状聚有机矽氧烷所成之聚矽氧。