激光加工

摘要

一种在基片中激光加工出形迹的方法，该方法包括：用脉冲激光沿扫描线加工基片，使得连续脉冲81在基片上不重叠，而是或者连续的，或者分隔开的。沿扫描线进行的各次后续激光扫描中的脉冲82、83、84相对于先前扫描中的脉冲81、82、83的起始点偏移，使得多次连续的激光扫描提供到达所需深度的加工，同时随着每次激光扫描的进行，形迹的边缘91、92、93、94逐渐平滑。

主权项

一种在基片中激光加工形迹的方法，包括：a.在第一次扫描中，用脉冲激光沿直线扫描线加工所述基片，使得在所述基片上的激光脉冲串中的连续脉冲是连续的；以及b.用后续的激光扫描沿同一扫描线进行加工，该后续的激光扫描相对于在前的扫描的起始点沿所述扫描线偏移，使得多次连续的激光扫描与沿所述同一扫描线的在前的扫描的脉冲相重叠，以提供到达所需深度的加工，同时平滑所述形迹的边缘；c.其中，激光脉冲产生的羽烟不从后续脉冲吸收能量；以及d.其中，所述扫描次数被选择成提供所述形迹的非圆齿状的边缘。