用于真空腔室的快慢充气装置

摘要

本发明公开了一种用于真空腔室的快慢充气装置，包括：压空组件，包括第一过滤减压阀、第一电磁阀和第二电磁阀，压缩空气通过第一过滤减压阀之后进入并联的第一电磁阀和第二电磁阀；充气组件，包括第二过滤减压阀，充气的介质经由第二过滤减压阀之后，再经过两条并联的管路进入真空腔室，两条管路上分布连接有快速充气阀和慢速充气阀，快速充气阀和慢速充气阀的通气能力不同；第一电磁阀用来控制快速充气阀的开关，第二电磁阀通用来控制慢速充气阀的开关。本发明具有结构简单、操作简便、控制精确度高等优点。

主权项

一种用于真空腔室的快慢充气装置，其特征在于，包括：压空组件，包括第一过滤减压阀（101）、第一电磁阀（102）和第二电磁阀（103），压缩空气通过第一过滤减压阀（101）之后进入并联的第一电磁阀（102）和第二电磁阀（103）；充气组件，包括第二过滤减压阀（201），充气的介质经由第二过滤减压阀（201）之后，再经过两条并联的管路进入真空腔室，所述两条管路上分布连接有快速充气阀（202）和慢速充气阀（203），所述快速充气阀（202）和慢速充气阀（203）的通气能力不同；所述第一电磁阀（102）用来控制快速充气阀（202）的开关，所述第二电磁阀（103）通用来控制慢速充气阀（203）的开关。