具有背部冷却槽的溅射靶材

摘要

本揭示案的实施方式涉及用于溅射腔室的溅射靶材，该溅射腔室用于处理基板。在一个实施方式中，提供用于溅射腔室的溅射靶材。溅射靶材包含具有背部表面的溅射板及安装至溅射板的环形背板，该背部表面具有径向内部、中间及外部区域。该背部表面具有多个圆形槽，这些圆形槽彼此间隔开；及至少一个弓状通道，该弓状通道切割穿过这些圆形槽，且从该溅射板的径向内部区域延伸至该径向外部区域。环形背板界定暴露该溅射板的背部表面的开口环。

主权项

一种用于溅射腔室的溅射靶材，所述溅射靶材包含：溅射板，所述溅射板具有背部表面，所述背部表面具有径向内部区域、径向中间区域及径向外部区域，所述背部表面具有：多个圆形槽，所述多个圆形槽彼此间隔开；以及至少一个弓状通道，所述至少一个弓状通道切割穿过所述圆形槽，且从所述溅射板的所述径向内部区域延伸至所述径向外部区域；以及环形背板，所述环形背板安装至所述溅射板，其中所述环形背板界定开口环，所述开口环暴露所述溅射板的所述背部表面。