油扩散泵

摘要

明提供一种考量全面分解检查时的作业安全的油扩散泵。油扩散泵50具有做为泵本体的壳体51。壳体51具有底部开放的筒状的壳体本体51a、将该本体51a的底部侧透过真空密封的密封材(图示省略)从大气侧下方支持及闭塞的下盖90。下盖90藉由缔结手段92可自由装卸地安装于壳体本体51a的下部。如上述的本发明中，特征是壳体51的底部能够与筒状的侧壁部分离。

主权项

一种油扩散泵，其特征在于：壳体的底部能够与筒状的侧壁部分离。