一种用于清除静电吸盘表面异物的吹扫装置

摘要

一种用于清除静电吸盘表面异物的吹扫装置，包括中间段喷管、顶部喷管、开口度调整螺栓、根部喷管和氮气进口管路等，氮气进口管路把氮气引入到缝式开口内，引入的氮气对静电吸盘上表面进行垂直吹扫，因为中间段喷管直径大于根部喷管和顶部喷管的直径，能使吹扫的氮气在静电吸盘上表面建立一个压力梯度，中心点的压力高，四周的压力低，以保证静电吸盘上表面的污染物能全部被吹扫干净；开口度调整螺栓起到调整中间段喷管开口度的作用，可以建立更大梯度的气流压力，以在各种污染程度下都能保证静电吸盘上表面的清洁度。所以该发明能避免出现静电吸盘的负压报警问题，且操作方便，提高了静电吸盘的作业效率。

主权项

一种用于清除静电吸盘(3)表面异物的吹扫装置，包括垂直地面方向布置的立柱(8)、水平方向布置的悬臂梁(2)、静电吸盘(3)、静电吸盘支架(4)、负压泵(5)、真空管道(6)、真空槽(7)，所述悬臂梁(2)的一端连接在立柱(8)靠近顶部的侧面；其特征在于，还包括中间段喷管(13)、根部喷管(16)、顶部喷管(11)、根部盲板(18)和顶部盲板(9)，根部盲板(18)和顶部盲板(9)分别以满焊方式连接在根部喷管(16)和顶部喷管(11)的外端，中间段喷管(13)、根部喷管(16)和顶部喷管(11)上布置有缝式开口(20)，根部喷管(16)靠近立柱(8)侧的上方连接有氮气进口管路(19)，从氮气进口管路(19)引进的氮气从缝式开口(20)内以垂直方向吹向静电吸盘(3)的上表面。