发明名称 |
真空泵 |
摘要 |
本发明提供一种真空泵,能确保从滚动轴承散热的性能、且能降低支撑刚性。涡轮分子泵(100)包括支撑转子的滚动轴承(8)、弹性保持滚动轴承(8)的外轮(81)的底座(2)、及填充于外轮(81)与底座(2)之间且稠度的NLGI编号为1.5以下的油脂。通过将冷却用油脂填充于外轮(81)与底座(2)之间,使得外轮(81)的散热性能提升。而且,通过使用稠度的NLGI编号为1.5以下的柔性油脂作为冷却用油脂,可将相对于外轮(81)的径向刚性抑制得小,因此,可将外轮(81)至底座(2)的振动传递抑制得充分低。 |
申请公布号 |
CN105402142A |
申请公布日期 |
2016.03.16 |
申请号 |
CN201510461378.6 |
申请日期 |
2015.07.30 |
申请人 |
株式会社岛津制作所 |
发明人 |
清水幸一;芦田修 |
分类号 |
F04D19/04(2006.01)I;F04D29/063(2006.01)I;F04D29/58(2006.01)I;F04D29/059(2006.01)I;F04D29/66(2006.01)I |
主分类号 |
F04D19/04(2006.01)I |
代理机构 |
北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 |
代理人 |
寿宁;张华辉 |
主权项 |
一种真空泵,其特征在于包括:滚动轴承,支撑转子;保持部,弹性保持所述滚动轴承的外轮;及油脂,填充于所述外轮与所述保持部之间、且稠度的美国润滑脂学会编号为1.5以下。 |
地址 |
日本京都府京都市中京区西之京桑原町1番地 |