发明名称 具备自滤光功能的硅光电探测器芯片
摘要 一种具备自滤光功能的硅光电探测器芯片,包括探测器芯片,其创新在于:所述探测器芯片的光敏区表面蒸镀有干涉滤光膜层。本发明的有益技术效果是:提供了一种制备自滤光功能的硅光电探测器芯片,采用这种芯片制作出的探测器,具有增强抗亮背景干扰能力。
申请公布号 CN105405912A 申请公布日期 2016.03.16
申请号 CN201510928790.4 申请日期 2015.12.15
申请人 重庆鹰谷光电有限公司 发明人 朱海华;卜晖;熊谊棱;范宗孝;骆菲
分类号 H01L31/09(2006.01)I;H01L31/101(2006.01)I;H01L31/0216(2014.01)I 主分类号 H01L31/09(2006.01)I
代理机构 重庆辉腾律师事务所 50215 代理人 侯懋琪;侯春乐
主权项 一种具备自滤光功能的硅光电探测器芯片,包括探测器芯片(1),其特征在于:所述探测器芯片(1)的光敏区表面蒸镀有干涉滤光膜层(2)。
地址 400060 重庆市南岸区丹龙路7号E幢