发明名称 表面粗化方法
摘要 明系提供一种使基板之表面粗化方法。
申请公布号 TW201611659 申请公布日期 2016.03.16
申请号 TW104110079 申请日期 2015.03.27
申请人 日产化学工业股份有限公司 发明人 染谷安信;坂本力丸;岸冈高広
分类号 H05B33/10(2006.01);H05B33/02(2006.01);H01L51/50(2006.01);B05D7/24(2006.01);B05D3/10(2006.01) 主分类号 H05B33/10(2006.01)
代理机构 代理人 林志刚
主权项 一种表面粗化方法,其系包含如下步骤:第1步骤,其系于基板上或较基板上方之层上涂布含有无机粒子(a1)与有机树脂(a2)之组成物(a3),并进行乾燥与硬化而形成有机树脂层(A);第2步骤,其系从该基板之上方进行蚀刻而使同基板之表面进行粗化。
地址 日本