微机电麦克风

摘要

明提供包括微机电系统麦克风之系统、方法及装置。在一个态样中，该等系统包括由诸如玻璃之一低介电材料制成的一基板。一半导体材料层实质上在该基板之一表面上方连续地延伸，且包括调变光以形成一影像之一显示元件阵列及侦测声学信号之一可移动振动膜。该振动膜系藉由包括横杆之弹簧而保持远离该基板，该等横杆具有大约4：1之一纵横比。

主权项

一种麦克风，其包含一基板，复数个锚定器，其附接至该基板且延伸远离该基板，一振动膜，及复数个弹簧，其各自具有连接至一各别锚定器之一第一末端及连接至该振动膜之一第二端以保持该振动膜远离该基板，且其各自具有一横杆，该横杆具有具大于4：1之一纵横比之一横截面且自该锚定器延伸至该振动膜。