| 主权项 |
一种用于操作一多光束粒子光学单元之方法，其中该多光束粒子光学单元具有至少两粒子光学组件，在每一案例中透过此有复数个粒子束通过，并且其在该粒子束上的效果可设定，并且其中该方法包含：(1)提供该等粒子光学组件效果的一第一设定，如此包含该粒子束粒子的一第一平面用粒子光学方式成像至一第二平面内，其中该粒子光学成像可利用至少二参数来特征化；(2)决定一矩阵A，以使以下为真：
其中为具有分量的一向量，其中n为粒子光学组件数，并且每一该等分量代表在该第一设定案例中该等粒子光学组件效果之值，为具有分量w1,w2,...,wn的一向量，其代表一设定与该第一设定不同的案例中，该等粒子光学组件的该等效果之值，为具有分量的一向量，其中m为将该粒子光学成像特征化的参数量，并且每一该等分量代表在该第一设定案例中该参数之一者之值，以及为具有分量p1,p2,...,pm的一向量，其代表该设定与该第一设定
不同的案例中，该等参数之值，(3)决定一矩阵S，以使以下为真：S．A=DA,其中DA为一对角矩阵；(4)定义将一所要粒子光学成像特征化的参数值；(5)提供该等粒子光学组件的该等效果之一第二设定，如此该粒子光学成像由具有该等定义值的该等参数特征化，其中该第二设定所需的该等效果根据以下来决定
其中：为具有分量的一向量，其代表该第二设定的案例中，该等粒子光学组件的该等效果之值，为具有分量的一向量，其代表该等参数的该等已定义值。
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