质量流量计及速度计

摘要

明的质量流量计，具备在加热部(13)的两侧分别形成有第1、第2感测器(11、12)的流量感测器(10)。流量感测器(10)，具备：以热塑性树脂构成，复数层叠的绝缘层(100、110、120)，及相对于该等绝缘层形成，彼此连接的第1、第2导电体(130、140)，将复数绝缘层(100、110、120)一边加热并加压成一体化的多层基板所构成。在具有从加热部(13)释出的热之流体沿着流量感测器(10)的一面移动时，第1、第2感测器(11、12)会对应各区域的一面与另一面之间产生温差的大小而产生电动势。流量感测器(10)是将复数绝缘层一边加热并加压成一体化的构造，不存在有如隔膜正下方的空间之大空间的构造，因此较具有隔膜构造的感测器更难破损。

主权项

一种质量流量计，具备：感测器(10、20)，具有一面(10a)及其相反侧的另一面(10b)，内部形成有热电转换元件，及热源体(13、14、240)，对存在于上述一面侧的流体释出温热与冷热之一方的热，上述感测器具备：以热塑性树脂构成，复数层叠的绝缘层(100、110、120、210、220)，及相对于上述绝缘层而形成，以不同的导电体构成，且彼此连接的第1、第2导电体(130、140、250、260)，以将复数的上述绝缘层一边加热并加压成一体化的多层基板构成，上述热电转换元件是以彼此连接的上述第1、第2导电体构成，并使得具有从上述热源体释出的热的上述流体沿着上述一面移动时，产生对应位于上述一面的第1区域，及上述感测器中与上述第1区域不同的位置的第2区域之间产生温差的大小的电输出，并且，具备根据上述热电转换元件产生的上述输出，及上述输出与上述流体的质量流量的关系，运算上述流体的质量流量的运算部(2)。