发明名称 |
坩埚 |
摘要 |
一种用于制造用于硅结晶化的坩埚的方法,包括以下步骤:制备固体和液体的浆料,所述固体由金属硅粉末、至多25%重量的SiC粉末、至多10%重量的SiN、至多0.5%重量的催化剂、至多1%重量的粘接剂组成;用浆料形成坩埚的生坯;在氮气可选地包括惰性气体的氛围中加热生坯,以使硅至少部分与氮化硅反应。 |
申请公布号 |
CN103298983B |
申请公布日期 |
2016.03.16 |
申请号 |
CN201180058403.6 |
申请日期 |
2011.12.19 |
申请人 |
施托伊勒太阳能有限公司 |
发明人 |
鲁内·罗利格海泰 |
分类号 |
C30B35/00(2006.01)I;C04B35/591(2006.01)I;F27B14/10(2006.01)I |
主分类号 |
C30B35/00(2006.01)I |
代理机构 |
上海智信专利代理有限公司 31002 |
代理人 |
王洁 |
主权项 |
一种用于制造用于硅结晶化的坩埚的方法,其特征在于,包括以下步骤:制备固体和液体的浆料,所述固体由金属硅粉末、至多25%重量的SiC粉末、至多10%重量的Si<sub>3</sub>N<sub>4</sub>、至多0.5%重量的催化剂、至多1%重量的粘接剂组成;用浆料形成坩埚的生坯;在氮气可选地包括惰性气体的氛围中加热生坯,以使硅至少部分反应生成氮化硅。 |
地址 |
德国赫尔-格伦茨豪森 |