阴极电弧沉积法

摘要

本发明提供一种在切削工具基体上沉积耐磨覆层的方法。利用一个或多个板状靶电极和至少200A、优选至少400A的高电弧电流进行阴极电弧沉积，从而在基体的前面提供至少5A的高总离子电流。可以采用较低的偏压，以避免高动能入射至基体上的离子的负面作用。通过本发明的方法，可以在切削工具基体上沉积厚耐磨覆层，从而提高切削性能和工具寿命。

主权项

一种高电流阴极电弧沉积方法，所述方法包括以下步骤：‑在真空室内提供阳极排布组和板状靶电极，形成用于阴极电弧沉积的阳极‑阴极构造；‑在所述真空室内提供一个或多个切削工具基体；‑在所述板状靶电极与所述阳极排布组之间施加至少200A的电弧电流，在所述板状靶电极表面上由作为一个或多个可见的弧斑的电弧放电生成等离子体，使得所述电弧放电的离子由所述板状靶电极发射出来，从而促进在所述一个或多个切削工具基体上形成覆层，其中，沿所述靶电极表面的法向的平均离子电流密度乘以所述板状靶电极的总表面积为至少5A，所述平均离子电流密度利用距所述靶电极表面15cm且面向所述靶电极的探针表面测量，其特征在于，所述方法还包括：对所述切削工具基体施加偏压V_S，偏压V_S相对于所述阳极排布组的电势V_A为负；和施加阴极电压V_C，阴极电压V_C相对于所述阳极排布组的电势V_A为负，其中V_S‑V_A>‑30V，‑20V<V_C–V_A<0V，并且‑10V≤V_S‑V_C≤10V。