一种金属有机源加料装置

摘要

本发明公开了一种金属有机源加料装置。该装置中有一个储料瓶。储料瓶有4个瓶口，分别为：加料口、回气口、载气入口、载气出口。加料口和载气出口在储料瓶的顶部；回气口通过一根管道插入储料瓶的中部；载气入口通过一根管道插入储料瓶的底部。原料瓶有2个瓶口，分别为进口和出口。出口在原料瓶的顶部，进口通过一根管道插入原料瓶的底部。原料瓶倒立，瓶口朝下，放在储料瓶的上部。原料瓶的出口通过一根管道与储料瓶的加料口相连，原料瓶的进口通过一根管道与储料瓶的回气口相连。该装置可以方便地给储料瓶加料，适合在大型金属有机物化学气相外延设备中使用。

主权项

一种金属有机源加料装置，其特征在于：该装置中有一个储料瓶(11)，储料瓶(11)正立，瓶口朝上；储料瓶有4个瓶口，分别为：加料口(1)、回气口(2)、载气入口(3)、载气出口(4)；加料口(1)和载气出口(4)在储料瓶(11)的顶部；回气口(2)通过一根管道插入储料瓶(11)的中部；载气入口(3)通过一根管道插入储料瓶(11)的底部；原料瓶(12)有2个瓶口，分别为进口(10)和出口(9)；出口(9)在原料瓶(12)的顶部，进口(10)通过一根管道插入原料瓶(12)的底部；原料瓶(12)倒立，瓶口朝下，放在储料瓶(11)的上部；原料瓶(12)的出口(9)通过一根管道与储料瓶(11)的加料口(1)相连，原料瓶(12)的进口(10)通过一根管道与储料瓶(11)的回气口(2)相连；储料瓶(11)的载气入口(3)通过一根管道与流量控制器相连；储料瓶的载气出口(4)通过一根管道与压强控制器相连；在原料瓶(12)的出口(9)与储料瓶(11)的加料口(1)之间，以及在原料瓶(12)的进口(10)和储料瓶(11)的回气口(2)之间，各加1个加料阀门(5)。