| 主权项 |
一种基板检查装置，其具备：基板保持部，其保持成为检查对象之基板；照明部，其朝向设定于上述基板上之检查对象区域照射照明光；摄像部，其拍摄自上述检查对象区域放出之散射光；偏光部，其改变上述照明光之振动方向；偏光方向切换部，其将上述偏光部切换为S偏光状态或P偏光状态；异物检查部，其基于利用上述摄像部所拍摄之图像，而检查附着于成为该检查对象之基板之表面侧或背面侧的异物之位置及大小；且于上述异物检查部具备：S偏光检查结果输出部，其输出将上述偏光部切换为S偏光状态进行拍摄而检查之结果；P偏光检查结果输出部，其输出将上述偏光部切换为P偏光状态进行拍摄而检查之结果；检查结果比较部，其将自上述S偏光检查结果输出部及上述P偏光检查结果输出部输出之检查结果进行比较；及异物附着面判定部，对于利用上述检查结果比较部针对成为检查对象之基板上之相同位置之散射光强度进行比较之结果，若「S偏光状态下之散射光强度>P偏光状态下之散射光强度」，则判定为于成为该检查对象之基板之表面侧附着有异物，若「P偏光状态下之散射光强度>S偏光状态辖之散射光强度」，则判定为于成为该检查对象之基板之背面侧附着有异物。
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