发明名称 电镀浴分析
摘要 学阻抗谱法系用于测定于金属电镀浴中之有机添加剂之含量。
申请公布号 TW201610239 申请公布日期 2016.03.16
申请号 TW104112835 申请日期 2015.04.22
申请人 罗门哈斯电子材料有限公司 发明人 索塞斯 马修A
分类号 C25D21/14(2006.01);C25D3/38(2006.01);G01N27/02(2006.01) 主分类号 C25D21/14(2006.01)
代理机构 代理人 洪武雄;陈昭诚
主权项 一种测定于金属电镀浴中一种或多种有机成分之浓度之方法,该方法包含下列步骤:a)提供具有可旋转工作电极、反电极、参考电极、恒电位器、及频率应答分析器之装置,其中该反电极系与该工作电极及该参考电极呈可操作式通讯;b)获得包含未知量之有机添加剂的金属电镀浴溶液;c)让各该工作电极、该参考电极及该反电极与该金属电镀溶液接触,及在以第一转速旋转该工作电极时,藉施加正电位而清洁该工作电极表面;d)藉于断路电位以第二转速旋转该工作电极而平衡该电镀溶液中之对流;e)施加为金属低电位沉积峰值之负50至500毫伏特(mV)之电位至该工作电极及覆盖1至100毫伏特之交替电位扰动;f)于10千赫兹(kHz)至1毫赫兹(mHz)之频率范围测量该有机添加剂溶液之阻抗应答;g)自该阻抗应答选择频率;及h)藉比较于择定之该频率之该阻抗应答与校正曲线而测定该有机添加剂之浓度。
地址 美国