| 发明名称 |
FLEXIBLE SUBSTRATES HAVING A THIN-FILM BARRIER |
| 摘要 |
낮은 액상선 온도(LLT) 물질로부터 형성된 무기 배리어층을 플렉서블 기판의 적어도 일부에의 적용, 및 상기 플렉서블 기판이 임계 온도 이하로 유지되는 동안 상기 무기 배리어층의 소결을 위한 방법 및 기기. |
| 申请公布号 |
KR101603877(B1) |
申请公布日期 |
2016.03.15 |
| 申请号 |
KR20157005225 |
申请日期 |
2007.11.26 |
| 申请人 |
코닝 인코포레이티드 |
发明人 |
에이트켄, 브루스 쥐;북바인더, 다나 씨;가너, 션 엠;퀘사다, 마크 에이 |
| 分类号 |
C23C14/10;C23C14/58;H01L51/00;H01L51/52 |
主分类号 |
C23C14/10 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
