发明名称 インプリント用のモールドおよび微細構造の形成方法
摘要
申请公布号 JP5884555(B2) 申请公布日期 2016.03.15
申请号 JP20120046234 申请日期 2012.03.02
申请人 大日本印刷株式会社 发明人 有塚 祐樹
分类号 B29C33/42;B29C59/02;H01L21/027 主分类号 B29C33/42
代理机构 代理人
主权项
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