| 摘要 |
(과제) 나사홈의 배기측 출구에 있어서의 가스 생성물의 발생을 억제하여 펌프 성능을 장기에 걸쳐 유지하는 진공 펌프를 제공한다. (해결 수단) 내주측 스테이터(80)의 외주면(80a)에 가스 배기 방향(D2)을 따라서 연장 설치된 돌조부(81)의 배기측 단부(81b)를 흡기측 단부(81a)보다 로터 회전 방향(R)의 전방을 향해 폭을 넓혀 형성하고, 돌조부(81) 사이에 형성된 나사홈(82)의 배기측 출구(82a)에서의 가스의 체류를 억제하는 유입 억제벽(83)을 구비하고 있는 진공 펌프(1). |
