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发明名称 半導体デバイス
摘要
申请公布号 JP5884625(B2) 申请公布日期 2016.03.15
申请号 JP20120107151 申请日期 2012.05.09
申请人 株式会社明電舎 发明人 三浦 敏徳;山田 真一;西口 哲也;野寄 剛示
分类号 H01L23/40;C23F4/00;H01L21/3065 主分类号 H01L23/40
代理机构 代理人
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