发明名称 Repair apparatus using electro hydro dynamic inkjet
摘要 본 발명에 따른 전기수력학적 잉크젯을 이용한 리페어 장치는, 리페어 대상물이 놓이는 처리기판홀더; 상기 처리기판의 상부에 위치하도록 구비되는 잉크젯 헤드; 상기 잉크젯 헤드의 일측에 형성되어 상기 잉크젯 헤드의 노즐 또는 잉크 토출 상태를 관측하는 제팅관측부; 상기 잉크젯 헤드의 타측에 일정 거리만큼 오프셋된 위치에 구비되어 상기 리페어 대상물에 대한 리페어 상태를 관측하는 정렬관측부; 및 상기 리페어 대상물에 토출된 상기 잉크 액적을 소결시키는 레이저 소결부;를 포함하며, 상기 처리기판홀더에 대해서 상기 정렬관측부와 상기 레이저 소결부는 일체로 상하방향 또는 좌우방향으로 운동 가능하도록 형성될 수 있다.
申请公布号 KR101599040(B1) 申请公布日期 2016.03.14
申请号 KR20140095867 申请日期 2014.07.28
申请人 순천향대학교 산학협력단;주식회사 피에스 发明人 권계시
分类号 G02F1/13 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
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