发明名称 TARGET, ADAPTED TO AN INDIRECT COOLING DEVICE, HAVING A COOLING PLATE
摘要 본 발명은 냉각 덕트를 포함하는 구성요소 및 구성요소의 냉각 측면에 대해 해제가능하게 접속되는 추가의 열적으로 전도성인 플레이트를 갖는 타깃을 냉각하기 위한 디바이스에 관한 것으로, 냉각 측면은 냉각 덕트가 효과적인 측면이며, 추가의 열적으로 전도성인 플레이트와 구성요소의 냉각 측면 사이에, 냉각 측면을 마주하는 추가의 열적으로 전도성인 플레이트의 측면에 접착제를 바른 방식으로 넓게 끈끈하게 결합된 제1 접착제를 바른 탄소 필름이 공급된다는 것으로 특징지어진다.
申请公布号 KR20160029081(A) 申请公布日期 2016.03.14
申请号 KR20167002290 申请日期 2014.06.30
申请人 OERLIKON SURFACE SOLUTIONS AG, TRUBBACH 发明人 KURAPOV DENIS;KRASSNITZER SIEGFRIED
分类号 C23C14/34;C23C14/35;H01J37/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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