| 摘要 |
본 발명은 평판 표시장치의 제조 장비들을 단순화시켜 그 제조 공정효율을 향상시킴과 아울러 제조 비용 또한 감축시킬 수 있도록 한 평판 표시장치의 제조 장비와 그 제조 방법에 관한 것으로, 외부로부터의 기판을 세정하는 세정부; 상기 세정된 기판상에 포토 레지스트를 형성하는 PR 형성부; 진공 가압상태에서의 복사열(Radiant Heat)을 이용해 상기 기판상에 형성된 포토 레지스트를 단일 공정으로 경화 및 건조시킴으로써 상기 포토 레지스트의 솔벤트를 제거하는 솔벤트 제거부; 상기 포토 레지스트 형성 기판에 노광 공정을 수행하는 노광부; 및 노광된 기판을 제공받아 현상 공정을 수행하는 현상부를 구비한 것을 특징으로 한다. |
