| 摘要 |
피열처리물(W)을 입출가능하게 수용하는 열처리실(11)과, 상기 열처리실(11)에 각각 연통하는 기체도입부(12) 및 기체도출부(13)를 구비한 열처리 유닛(10)에 설치되는 기체처리유닛(20A)에 있어서, 기체도입부(12)에 제1 접속부(14, 25)를 개재하여 착탈가능하게 연결되는 도입덕트(22), 및 기체도출부(13)에 제2 접속부(15, 26)를 개재하여 착탈가능하게 연결되는 도출덕트(23)를 구비하고, 기체도입부(12)로 열처리용 기체를 도입하는 한편 기체도출부(13)로부터 열처리시의 기체를 도출하기 위한 기체통로(21A)와, 피열처리물(W)로부터 발생하는 열처리시의 기체에 포함되는 승화물을 분해하기 위한 촉매(30)와, 적어도 상기 촉매(30)를 가열하는 가열기(31)와, 열처리용 기체 및 열처리시의 기체를 소정 방향으로 유도하는 송풍기(32)를 구비한다. 송풍기나 가열기 등의 전기기기가 고장이 나더라도 신속하게 대체할 수 있는 일이 가능하게 된다. |
