高速伺服阀元件与系统

摘要

高速伺服阀元件与系统。此高速伺服阀元件包含伺服阀体、线性马达、位移计以及壳体。伺服阀体具有阀轴，而线性马达连接至伺服阀体，以驱动伺服阀体来使阀轴往复移动。位移计系用以感测阀轴之位移量，以使线性马达根据位移量来调整马达转速与马达位置。伺服阀体、线性马达以及位移计系固设于壳体上。此高速伺服阀系统包含上述之伺服阀体、马达驱动器以及控制器。马达驱动器系电性连接至线性马达，以控制线性马达来驱动伺服阀体。控制器用以根据该阀轴之位移量来产生控制讯号控制马达驱动器。

主权项

一种高速伺服阀元件，包含：一壳体；一阀体，固设于该壳体上，且具有一阀轴；一线性马达，固设于该壳体上，且连接至该阀体，其中该线性马达用以驱动该阀体，以使该阀轴往复移动；以及一位移计，固设于该壳体上，用以感测该阀轴之一位移量，以使该线性马达根据该位移量来变化马达转速与马达位置。