感光化射线性或感放射线性树脂组合物及使用该组合物的图案形成方法

摘要

一个实施例，感光化射线性或感放射线性树脂组合物包含芳基鋶盐，其在曝露于光化射线或放射线时产生酸，所述芳基鋶盐含有总共具有一或多个推电子基团的至少一个芳基环，曝露于光化射线或放射线时产生之酸的体积为240立方埃或大于240立方埃。

主权项

一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物，其包括在曝露于光化射线或放射线时产生酸之芳基鋶盐，所述芳基鋶盐含有总共具有一或多个推电子基团的至少一个芳基环，曝露于光化射线或放射线时产生之所述酸的体积为240立方埃或大于240立方埃，其中所述芳基鋶盐含有以下通式(I)之阳离子部分中的任一者以及以下通式(II)之阴离子部分中的任一者：

在所述通式(I)中，Ar1表示芳族环，其中可进一步引入除-(OR1)基团以外之取代基；R1表示直链或分支链烷基或环烷基；R2表示视情况经取代之芳基、视情况经取代之烷基或视情况经取代之环烷基；l为1或大于1之整数；且m为1至3之整数，且n为0至2之整数，其限制条件为满足m+n=3；其限制条件为由m个Ar1以及n个R2中选出的两个成员可彼此键结，由此与所述通式(I)中出现的硫原子一起形成环，

在所述通式(II)中，X表示视情况经取代之伸烷基或视情况经取代之氟伸烷基，z为0或大于0之整数；G表示视情况含有醚氧之伸烷基或伸芳基、由其组合构成之基团、或单键；L表示二价连接基团，y为0或大于0之整数；D表示以下通式(V)基团中之任一者；且W表示以下通式(III)基团以及通式(IV)基团中之任一者：

在通式(V)中，Ar2表示芳族环，其中可进一步引入除-(A-B)基团以外之取代基；p为1或大于1之整数；A表示单键，或由伸烷基、-O-、-S-、-C(=O)-、-C(=O)O-、-S(=O)-、-S(=O)2-以及-OS(=O)2-中选出的任一成员或两个或两个以上成员的组合；
B表示含有具有3个或3个以上碳原子之环脂族基团的基团；其限制条件为当p为2或大于2时，多个-(A-B)基团可彼此相同或不同；且*表示与通式(II)之L连接的位点，

在所述通式(III)以及所述通式(IV)中，Rf表示氟烷基，其具有至少一个作为取代基引入其中的氟原子。