| 摘要 |
본 발명은 유량 스위칭 시의 하강 응답 시간의 단축을 도모하여 하강 응답 특성을 높이는 것을 가능하게 한 압력식 유량 제어 장치를 제공한다. 본 발명의 압력식 유량 제어 장치는 유체 입구(2)와 유체 출구(3) 사이를 연통하는 유체 통로(4)를 형성한 본체(5)와, 본체(5)에 고정되어서 유체 통로(4)를 개폐하는 압력 제어용 컨트롤 밸브(CV)와, 압력 제어용 컨트롤 밸브(CV)의 하류측의 유체 통로(4)에 개재시킨 오리피스(OL)와, 본체(5)에 고정되어서 압력 제어용 컨트롤 밸브(CV)와 오리피스(OL) 사이의 유체 통로(4)의 내압을 검출하는 압력 센서(P1)를 구비하고, 유체 통로(4)는 압력 제어용 컨트롤 밸브(CV)와 압력 센서(P1)의 압력 검지면 (P1a) 상의 압력 검지실(4b)을 접속하는 제 1 통로부(4a)와, 제 1 통로부(4a)와 이간되어 압력 검지실(4b)과 오리피스(OL)를 접속하는 제 2 통로부(4c)를 구비한다. |
