| 发明名称 |
基板及基板加工方法 |
| 摘要 |
明是提供确保制品率之薄的矽基板。该矽基板是单结晶之基板10，前述基板10在内部具有改质层14，该改质层14形成有具有与该基板10之结晶方位不同结晶方位的周期结构，前述周期结构是相连结。
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| 申请公布号 |
TWI524960 |
申请公布日期 |
2016.03.11 |
| 申请号 |
TW102103674 |
申请日期 |
2013.01.31 |
| 申请人 |
信越聚合物股份有限公司;国立大学法人埼玉大学 |
发明人 |
松尾利香;铃木秀树;国司洋介;池野顺一 |
| 分类号 |
B23K26/06(2014.01);B23K26/38(2014.01);B23K26/40(2014.01);B28D5/00(2006.01);H01L21/304(2006.01) |
主分类号 |
B23K26/06(2014.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪武雄;陈昭诚 |
| 主权项 |
一种基板，其系单结晶的基板，前述基板在其内部具有改质层，该改质层系周期性形成有具有与该基板之结晶方位不同之结晶方位的具有多结晶之加工痕迹，在前述改质层中邻接之加工痕迹是相连结着。
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| 地址 |
日本;日本 |
