| 发明名称 |
盐及含该盐之光阻组成物 |
| 摘要 |
明系提供一种式(I)所示之盐：
[式中，Q1及Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，L1表示C1-C20二价饱和烃基，其中一个或多个-CH2-可经-O-或-CO-予以置换，W表示式(W1)，(W2)，(W3)，(W4)或(W5)所示之基团：
以及Z+表示有机平衡离子]。
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| 申请公布号 |
TWI525082 |
申请公布日期 |
2016.03.11 |
| 申请号 |
TW101111807 |
申请日期 |
2012.04.03 |
| 申请人 |
住友化学股份有限公司 |
发明人 |
安立由香子;市川幸司 |
| 分类号 |
C07D277/06(2006.01);C07D279/12(2006.01);C07D281/00(2006.01);C07D281/06(2006.01);G03F7/004(2006.01) |
主分类号 |
C07D277/06(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪武雄;陈昭诚 |
| 主权项 |
一种式(I)所示之盐：
[式中，Q1及Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，L1表示C1-C20二价饱和烃基，其中一个或多个-CH2-系经-O-或-CO-予以置换，W表示式(W1)，(W2)，(W3)，(W4)或(W5)所示之基团：
以及Z+表示有机平衡离子]。
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| 地址 |
日本 |
