| 摘要 |
본 발명은 반도체, 디스플레이(Display) 및 제약 회사 등 정밀 제품 생산공정을 위한 클린룸에 존재하는 산성, 염기성 가스 및 기타 미량의 유해한 가스를 최대한 깨끗하게 제거하기 위하여 이온교환기능을 구비한 이온교환수지, 가스 제거용 약제, 활성탄 및 촉매물질 등이 충진될 수 있는 카트리지와 복수의 카트리지를 용이하게 결합 체결할 수 있는 구조로 이루어져 필터의 제작을 용이하게 하는 이온교환수지 또는 활성탄, 약제가 충진된 카트리지와 필터 유닛에 관한 것이다. |
