| 发明名称 | 除电用治具及使用此之基板处理装置以及基板处理装置之除电方法 | ||
| 摘要 | 可以以简易方法且快速进行基板处理装 置之各构件的除电的除电用治具及使用此之除电方法。 除电用晶圆(J)系能够藉由基板处理 装置(1)之搬运机构而搬运，并且具有能够在各处理模组内载置之基板形状，具备：由放电电极(501)、诱电电极(502)、被夹在该些放电电极(501)和诱电电极(502)之间的诱电体(503)所构成之离子产生电极(51)；和对上述放电电极(501)及上述诱电电极(502)施加电压的高压电源电路(53a)及电池(53b)。藉由从离子产生电极(51)所产生之离子，对基板处理装置(1)之各构件进行除电。 | ||
| 申请公布号 | TWI525786 | 申请公布日期 | 2016.03.11 |
| 申请号 | TW101140999 | 申请日期 | 2012.11.05 |
| 申请人 | 东京威力科创股份有限公司 | 发明人 | 羽岛仁志 |
| 分类号 | H01L23/60(2006.01);H01L21/67(2006.01) | 主分类号 | H01L23/60(2006.01) |
| 代理机构 | 代理人 | 林志刚 | |
| 主权项 | 一种除电用治具，为用以对基板处理装置之各构件或浮游微粒进行除电之治具，其特征为：藉由基板处理装置之搬运机构能够搬运，并且具有能够在各处理模组内载置的基板形状，具备：离子产生电极，其系由放电电极，和诱电电极，和被夹在此些放电电极和诱电电极之间的诱电体所构成；高压电源电路，其系对上述放电电极及上述诱电电极施加电压；及电池，其系对上述高压电源电路供给能量。 | ||
| 地址 | 日本 | ||