基板处理装置、基板处理方法及记忆媒体

摘要

能够以接近实际运转之条件，有效率地实行试运转之基板处理装置等。
从搬运容器(FOUP1~4)取出基板(W)在处理模组(2)进行处理，并在返回至原来之搬运容器之基板处理装置(1)中，选择部(31)接受进行基板搬运机构(15)、(17)或处理模组(2)之动作确认运转的模式之选择，工件设定部(32)设定动作确认用之复数之控制工件(CJ)，并且在每个CJ设定对基板(W)所实行之配方的制程工件(PJ)，控制部(3)判断顺序为互相前后的两个CJ的PJ是否能够平行实行。

主权项

一种基板处理装置，系对复数之基板进行处理的基板处理装置，其特征为：具备载置台，其系用以载置用以收纳复数之基板的搬运容器；复数之处理模组，其系用以进行基板之处理；基板搬运机构，其系用以在上述载置台和上述处理模组之间搬运基板；选择部，其系选择用以至少进行基板搬运机构或处理模组之动作确认运转的动作确认模组；工件设定部，其系设定动作确认用之复数之控制工件，并且对该些每个控制工件，输入对在上述搬运容器和该搬运容器之槽缝之位置被特定之基板而实行的配方而设定制程工件；控制部，其系于从上述选择部选择动作确认模式，实行上述复数之控制工件之时，判断一个控制工件之配方和顺序为后一个的控制工件之配方是否能够平行实行；及次数设定部，其系用以设定上述动作确认用之控制工件之实行次数，上述控制部系于上述顺序为后一个的控制工件之配方与上述一个控制工件之配方能够平行实行之时，则与上述一个控制工件平行实行，上述控制部于上述顺序为后一个的控制工件之配方不可能和上述一个控制工件之配方平行实行之时，上述一个
控制工件之最终基板被收纳至搬运容器之后，接着实行上述顺序为后一个的控制工件。