电子材料之洗净方法与洗净系统

摘要

明的电子材料洗净系统系包括：药液洗净手段1、湿式洗净手段2、及单片式洗净装置3。药液洗净手段1系包括：机能性药液储存槽6、以及经由浓硫酸电解管线7连接于该机能性药液储存槽6的电解反应装置8。该机能性药液储存槽6系经由机能性药液供应管线10，可将机能性药液W1供应给单片式洗净装置3。湿式洗净手段2系包括：连通于纯水供应管线21与氮气源的氮气供应管线22、以及分别连接于该等纯水供应管线21与氮气供应管线22的内部混合型二流体喷嘴23。从二流体喷嘴23的前端，可喷射出由氮气与超纯水生成的液滴W2。根据该电子材料洗净系统，可缩短电子材料的光阻剥离处理所需要时间，更可利用光阻剥离后的湿式洗净，于短时间内确实地去除光阻残渣。

主权项

一种电子材料之洗净方法，其特征在于包括：使由硫酸进行电解所获得的机能性药液，接触到电子材料的药液洗净步骤，其中，上述机能性药液之过硫酸浓度为2~20[g/L(asS2O8)]；以及使由气体与液体所生成液滴的喷流，接触到上述电子材料的湿式洗净步骤。